EZS系列無塵室對應(搭載αSTEP AZ系列)

●使用低發塵潔淨潤滑油

滾珠螺桿和導軌、軸承等採用低發塵潔淨潤滑油。
關於使用潤滑油，請參閱此處

●以較少的吸引量實現等級 3 的潔淨度

例如，EZSM3 時，以約 20l/min 以上的內部吸引量實現 ISO 規格等級 3 的潔淨度。

＊EZSM4、EZSM6的發塵量與吸引量的相關圖請參閱此處。